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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

殘余氣體分析儀應(yīng)用于分子束外延 MBE

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng)伯東企業(yè)(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地深圳市
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 更新時(shí)間2025/5/28 11:13:27
  • 訪問(wèn)次數(shù)86
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伯東企業(yè)(上海)有限公司(德國(guó)Pfeiffer中國(guó)華東華南代理)www.hakuto-vacuum.cn,專(zhuān)業(yè)銷(xiāo)售及維修德國(guó)Pfeiffer氦質(zhì)譜檢漏儀及分子泵、旋片泵、羅茨泵、真空規(guī)管、質(zhì)譜儀等真空產(chǎn)品。維修技術(shù)力量雄厚,保證 100 % 擁有標(biāo)準(zhǔn)的德國(guó)Pfeiffer原廠測(cè)試設(shè)備及調(diào)整工具和德國(guó)Pfeiffer專(zhuān)業(yè)培訓(xùn)工程師,多年來(lái)致力于真空系統(tǒng)的安裝、調(diào)試、維修、拆機(jī)、保養(yǎng)等,具有優(yōu)良的專(zhuān)業(yè)技能和服務(wù)意識(shí),并獲得原廠*維修資質(zhì)證書(shū)。利用 Pfeiffer 進(jìn)口檢測(cè)設(shè)備對(duì)維修后的產(chǎn)品做*性能測(cè)試。

 

伯東企業(yè)(上海)有限公司(德國(guó)普發(fā)中國(guó)區(qū)總代理)是一家專(zhuān)業(yè)代理公司,專(zhuān)業(yè)代理德國(guó)Pfeiffer 真空產(chǎn)品。主要經(jīng)營(yíng)渦輪分子泵(分子泵 Hipace10-700 l/s系列、TMH/U、 TPH/U之分子泵 10-500 l/s系列、分子泵 1000-2000 l/s系列及全磁浮分子泵 magnetic turbo pump系列)、分子泵機(jī)組、分子泵附件、機(jī)械泵(單、雙級(jí)旋片泵、羅茨泵)、油泵、干泵(隔膜泵、Xtradry)、氦質(zhì)譜檢漏儀、質(zhì)譜儀(殘余氣體分析質(zhì)譜系列和常壓分析質(zhì)譜系列)、真空計(jì)、真空配件(連接零部件、密封件、法蘭、管件、波紋管、轉(zhuǎn)接頭)、真空閥門(mén)和分子泵*油(P3油、F4/F5油、D1油)等產(chǎn)品。

同時(shí),我公司作為德國(guó)普發(fā)在中國(guó)**Pfeiffer維修中心,在上海、深圳、中國(guó)臺(tái)灣、日本、泰國(guó)、香港等地均設(shè)有Pfeiffer 正式*維修服務(wù)網(wǎng)點(diǎn),保證 100 %德國(guó) Pfeiffer 原廠部件和受德國(guó)Pfeiffer專(zhuān)業(yè)培訓(xùn)的工程師,并用 Pfeiffer 進(jìn)口檢測(cè)*設(shè)備對(duì)維修后的產(chǎn)品做全方面的性能測(cè)試,為您提供從配件到維護(hù)合同的標(biāo)準(zhǔn)化服務(wù)體系。

我公司秉承較早、Z快、Z及時(shí)的基本原則,為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和周到的服務(wù)。伯東公司愿意與世界各地的客戶聯(lián)手合作,共建一個(gè)誠(chéng)信、發(fā)展、共同進(jìn)步的良好環(huán)境。

 

德國(guó) Pfeiffer 真空泵,氦檢漏儀,分子泵,質(zhì)譜儀,真空規(guī)管,真空閥門(mén)及美國(guó)Brooks 旗下CTI Cropump 冷凝泵/低溫泵, Polycold 冷凍機(jī)和美國(guó)KRI 離子源,PLD鍍膜機(jī)
殘余氣體分析儀應(yīng)用于分子束外延 MBE
殘余氣體分析儀應(yīng)用于分子束外延 MBE 產(chǎn)品信息

上海伯東 Pfeiffer 殘余氣體分析質(zhì)譜儀 QMG 應(yīng)用于分子束外延(MBE)系統(tǒng)
分子束外延(MBE)是一種晶體生長(zhǎng)技術(shù),將半導(dǎo)體襯底放置在超高真空腔體中,和將需要生長(zhǎng)的單晶物質(zhì)按元素的不同分別放在噴射爐中,由分別加熱到相應(yīng)溫度的各元素噴射出的分子流能在襯底上生長(zhǎng)出極薄的,可薄至單原子層水平,單晶體和幾種物質(zhì)交替的超晶格結(jié)構(gòu)。
分子束外延主要研究的是不同結(jié)構(gòu)或不同材料的晶體和超晶格的生長(zhǎng)。該方法生長(zhǎng)溫度低,能?chē)?yán)格控制外延層的層厚組分和摻雜濃度。
分子束外延系統(tǒng)對(duì)真空度要求及其高,對(duì)真空腔體的密封性、材料放氣率、微量雜質(zhì)氣體和水蒸氣比較敏感,本系統(tǒng)采用上海伯東德國(guó) Pfeiffer 殘氣質(zhì)譜儀 QMG 對(duì)超高真空腔體進(jìn)行檢漏,及材料放氣組分及水汽進(jìn)行分析,確保超高真空及真空的穩(wěn)定性,對(duì)晶格的生長(zhǎng)起到很好的作用。

客戶案例:上海某研究所 MBE 超高真空系統(tǒng)

系統(tǒng)運(yùn)行條件:
1. 主要針對(duì) ZnO 等金屬氧化物外延生長(zhǎng)
2. 超高真空生長(zhǎng)室,配有上海伯東德國(guó) Pfeiffer殘余氣體分析質(zhì)譜儀 QMG+液氮冷屏;
3. 配有12個(gè)加熱泄流源.
4. 襯底加熱器加熱溫度1200℃
5. SiC 襯底加熱器可以在氧氣環(huán)境下工作;
6. 線型進(jìn)樣室實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)送片

配套 Pfeiffer QMG 殘余氣體分析質(zhì)譜儀配置:
1.測(cè)量范圍:1-100amu
2.檢測(cè)器:Faraday/C-SEM
3.烘烤溫度:200℃
4.離子源:Grid ion source
5.燈絲:Yttriated iridium
6.配有軟件及I/O模塊
Pfeiffer 質(zhì)譜分析儀
Pfeiffer 殘余氣體質(zhì)譜分析儀與友廠同級(jí)別質(zhì)譜分析儀相比,更適用于移動(dòng)應(yīng)用,并且提供高解析度和靈敏度,可對(duì)氣體進(jìn)行定性和定量分析,應(yīng)用范圍廣泛,從大氣壓力到高真空均可使用。
Pfeiffer 質(zhì)譜分析儀

15700106413
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