一、羅門哈斯超純水樹脂UP6040工作交換容量
與一般的離子交換樹脂應(yīng)用相比較，交換容量在超純水系統(tǒng)的終端精制混床應(yīng)用上并不是主要的因素，因?yàn)榫苹齑驳娜胨|(zhì)所殘余的不純物，應(yīng)該已是ppb的范圍。因此終端精制混床樹脂床的設(shè)計(jì)，是在不超過樹脂的離子交換速率范圍內(nèi)，以的流量及最少的床體接觸時(shí)間為主要的參考數(shù)據(jù)。
一般而言，精制混床的入水水質(zhì)不純物含量，雖然是相當(dāng)?shù)牡?，但卻具有極大的變異性(例如某周為2ppb，但次周卻為6ppb)，因此，工作交換容量的計(jì)算無法單純的以某一數(shù)據(jù)加以表示。實(shí)際的終端精制混床的使用壽命是決定在前端處理單元的良窳，而不是樹脂的交換容量。羅門哈斯超純水樹脂UP6040所使用的陽陰樹脂，是在所有類似相同用途的羅門哈斯樹脂中，已被證實(shí)具有較高的交換容量。在采水周期中，終端精制混床樹脂會(huì)因吸附入水中所含不同種類，如二氧化硅、硼離子、鈉離子及碳酸氫鹽之類等不易去除的離子，而逐漸飽和。
二、羅門哈斯超純水樹脂UP6040流量及壓差
流量是非常重要的設(shè)計(jì)參數(shù)，對(duì)終端精制混床樹脂而言，體積流量不應(yīng)低于30BV/h (3.8gpm/ft3)。在流量高達(dá)50BV/h (6.3gpm/ft3)的操作條件下，也是經(jīng)常所采用的設(shè)計(jì)，且證明可得到的結(jié)果，在某些系統(tǒng)，所設(shè)計(jì)的流量更是略高過此數(shù)據(jù)。因此流量的設(shè)計(jì)是由具經(jīng)驗(yàn)的超純水處理系統(tǒng)制造商，依系統(tǒng)的供水純度要求及工程參數(shù)之間，折衷權(quán)衡后所獲得的選擇。而羅門哈斯超純水樹脂UP6040可以滿足這些設(shè)計(jì)中，對(duì)終端精制混床樹脂的所有要求。
三、羅門哈斯超純水樹脂UP6040離子的泄漏
羅門哈斯超純水樹脂AMBERJET UP6040及其組成樹脂均經(jīng)過后處理程序，充份的再生，以確保對(duì)各種的離子種類而言，均為最少的離子泄漏量。這些氫型及氫氧型樹脂均具再生比率，在經(jīng)過獨(dú)立的實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)羅門哈斯超純水樹脂UP6040的采水水質(zhì)，所有的離子種類濃度之低，已超過該實(shí)驗(yàn)室的檢測(cè)能力，因此所有的檢測(cè)數(shù)據(jù)均為空白。該實(shí)驗(yàn)室的檢測(cè)基線泄漏量，大部份的離子種類均為個(gè)位數(shù)的兆分之一(ppt)。而在如此低范圍的離子層析分析(ion chromatography analysis)下，，羅門哈斯超純水樹脂UP6040的二氧化硅泄漏量通常是低于50ppt。在實(shí)際使用上，類似或更低的數(shù)據(jù)是常見的。
四、羅門哈斯超純水樹脂UP6040顆粒泄漏
羅門哈斯超純水樹脂AMBERJET UP6040是用于超純水系統(tǒng)中個(gè)減少顆粒泄漏量的樹脂，其概念與多年來描述樹脂的顆粒大小及細(xì)微粒(fines)的定義是有所不同的，而是與樹脂表面上次微米(sub-micron)的細(xì)小顆粒有關(guān)。這對(duì)樹脂的制造而言，是一個(gè)相當(dāng)新的概念，因?yàn)楸仨氉寴渲砻姹３址浅５钠交?、干凈，同時(shí)防止因樹脂的相互磨擦，所造成的剝落情形。在此概念下，羅門哈斯超純水樹脂UP6040的組成陽陰樹脂，在顆粒聚合的生產(chǎn)開始階段時(shí)，即開始控制減少樹脂表面次微米顆粒的釋放。
雖然羅門哈斯超純水樹脂UP6040仍然不是沒有顆粒的釋放，但相較其它用于類似用途的樹脂，它已經(jīng)是大幅減少顆粒的排放。雖然系統(tǒng)中的終端過濾器仍然是確保超純水產(chǎn)水中，不含任何顆粒的主要單元。羅門哈斯超純水樹脂UP6040的使用將大幅減少在新樹脂采水初期，大量顆粒釋放所產(chǎn)成的過濾器瞬間負(fù)荷。較少終端精制混床樹脂顆粒的釋放，表示終端過濾器較長(zhǎng)的使用壽命及較佳的過濾效果。
五、羅門哈斯超純水樹脂UP6040操作溫度
溫度是另一個(gè)影響終端精制混床樹脂效能的重要參數(shù)。對(duì)混床而言，較高的操作溫度將會(huì)造成二氧化硅及TOC的泄漏量增加，同時(shí)亦可能造成較高的硼離子泄漏。由于使用具高能量的氧化TOC 紫外線束設(shè)備，進(jìn)入終端精制循環(huán)系統(tǒng)的水溫會(huì)因此而提高。為了從終端精制混床得到采水水質(zhì)，將水溫維持在低于攝氏25度是非常重要的。終端精制混床是可以工作在較高的水溫，但也會(huì)因此而造成較高的離子泄漏量及較短的使用壽命。在已操作一段時(shí)間的精制混床中，當(dāng)入水水溫瞬間上升時(shí)，常會(huì)造成明顯，可監(jiān)測(cè)的TOC或二氧化硅泄漏量提升。
六、羅門哈斯超純水樹脂UP6040質(zhì)量保證
羅門哈斯公司針對(duì)羅門哈斯超純水樹脂AMBERJET UP6040測(cè)試了電阻值、總有機(jī)碳值及離子交換速率的特性，保證每批次的羅門哈斯超純水樹脂UP6040均能符合生產(chǎn)超純水所需要非常嚴(yán)苛的特性參數(shù)，并可滿足使用單位的需求。
七、應(yīng)用及特性
在半導(dǎo)體廠內(nèi)的超純水處理系統(tǒng)是一龐大的，復(fù)雜的系統(tǒng)，并包含了許多不同的單元，而整個(gè)系統(tǒng)的功能及設(shè)計(jì)主要是為了得到的超純水。雖然沒有任何單一的單元可以確保最終的采水水質(zhì)，但是終端精制混床是超純水在接觸到半導(dǎo)體芯片前的道化學(xué)精制的處理程序，其重要性是不可忽視的。不像對(duì)化學(xué)物質(zhì)呈現(xiàn)惰性的管路及過濾材料，離子交換樹脂是帶化學(xué)性反應(yīng)的聚合物，所有的待處理水會(huì)的通過樹脂，因此精制混床樹脂是除去微量化學(xué)污染物質(zhì)的道防線。除此之外，這些樹脂絕不能釋出任何物質(zhì)，進(jìn)而污染到不能間斷的超純水供水系統(tǒng)。因?yàn)檫@些嚴(yán)格的條件，終端精制混床樹脂必須是的品質(zhì)，且同時(shí)必須是正確的被使用的。
