特點(diǎn):
直流疊加單極性正向脈沖偏壓電源,實(shí)際上將直流偏壓電源與單極性正向脈沖偏壓電源串聯(lián),進(jìn)行有機(jī)的結(jié)合,作用是通過調(diào)節(jié)直流輸出電壓和脈沖電壓實(shí)現(xiàn)直流、單極脈沖和直流疊加脈沖三種偏壓模式。配合脈沖頻率和占空比調(diào)節(jié),可控制成膜溫度,增加膜基結(jié)合力,提高沉積速率。本電源特別適用于低溫速沉積和高品質(zhì)鍍膜系統(tǒng)。由其是在鍍制非導(dǎo)電介質(zhì)膜時,采用高頻直流疊加脈沖電源可替代傳統(tǒng)的射頻電源,是非常有發(fā)展前途工藝途徑。
技術(shù)指標(biāo):
1. 交流輸入:三相380VAC
2. 功率因數(shù):≥0.99
3. 效 率:≥86%
4. 輸出波形:直流、單極性正向脈沖、直流疊加脈沖
5. 輸出電流:0~320A 分10種規(guī)格:1KW、2KW、5KW、10KW、20KW、30KW、50KW、
70KW、100KW、200KW
6. 輸出電壓:直流0~1200V,脈沖0~1200V
7. 輸出頻率:1KHz~200KHz
8. 脈沖占空比:5~90%獨(dú)立連續(xù)可調(diào)
9. 工作方式:恒流、恒壓、恒功率任選
10. 穩(wěn)壓精度:≤1%
11. 環(huán)境溫度:-10℃~40℃
12. 冷卻方式:風(fēng)冷、水冷
濟(jì)南能華機(jī)電設(shè)備有限公司是國內(nèi)的電源設(shè)備制造商,為您提供直流及脈沖電源的解決方案。公司擁有雄厚的開發(fā)與設(shè)計能力,能在較短的時間內(nèi)設(shè)計制造出具有特殊功能和較高技術(shù)含量的專用電源。尤其擅長高電壓、大電流、低紋波、高精度、的直流及方波電源,電源精度高,效率高、穩(wěn)定性好,其性能指標(biāo)已接近或達(dá)到水平,在國內(nèi)同行業(yè)中處于地位。產(chǎn)品陣列:按原理分類:高頻開關(guān)電源、線性直流電源;按輸入輸出分類:AC/DC、DC/DC;按波形分類:直流、脈沖方波、直流脈沖疊加;按電壓電流分類:電壓0-200KV內(nèi)任選、電流0-50KA內(nèi)任選;按控制方式分類:本機(jī)控制(手動旋鈕控制、按鍵控制、觸摸屏控制)、遠(yuǎn)程控制(RS485/RS232/USB/GPIB通信控制、CAN總線、PLC模擬信號控制);按用途分類:表面處理行業(yè)、環(huán)保行業(yè)、鐵路電氣行業(yè)、航天、科研單位及學(xué)校實(shí)驗(yàn)室、低壓電器、石油及礦產(chǎn)勘探、新材料研究、新能源、太陽能光伏、加熱、電機(jī)馬達(dá)、新能源、汽車電器、各種電氣產(chǎn)品測試?yán)匣刃袠I(yè);定制電源:可按照客戶要求定制各種非標(biāo)電源,如:體積外觀、高精度、多段控制、N+1冗余、特殊控制方式、組網(wǎng)控制、上位機(jī)軟件編寫等;
直流疊加脈沖偏壓電源 產(chǎn)品信息






