產(chǎn)品簡介
真空濺射鍍膜電源具有超高的準(zhǔn)確性、高精確度、高穩(wěn)定性等優(yōu)良的電子特性,配備的打弧管理系統(tǒng),能有效抑制靶材弧光放電,打弧檢測時間小于3微秒。輸出電壓可以隨不同的靶材變化,具有的負(fù)載匹配能力。該電源是專業(yè)用于真空濺射鍍膜的電源設(shè)備,輸出電壓及電流獨立可調(diào),恒壓恒流自動轉(zhuǎn)換,電源具備極其的抗打火短路性能。
產(chǎn)品特點
產(chǎn)品特點
.自動穩(wěn)流功能,可在電網(wǎng)電壓和負(fù)載大幅度變化的情況下保證電源高效穩(wěn)定的工作,充分保證鍍膜工藝的重復(fù)性,精確控制膜厚和減少靶材用量
.針對新靶清洗時存在的頻繁打火現(xiàn)象,設(shè)計了抑制打火自動保護(hù)功能,既保證了靶面清潔的工藝的穩(wěn)定性,又提高了靶面清潔的速度。
.具有電壓陡降特性,可充分滿足磁控濺射的特殊要求
.冗余技術(shù):在配置冗余機器設(shè)備的狀況下可以隨時任意切斷任何一臺或一組單機而不影響整個電源系統(tǒng)的穩(wěn)定運行。
.模塊設(shè)計:本電源系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計,安裝簡單、維護(hù)方便
.過壓保護(hù).過流保護(hù).過載保護(hù).過熱保護(hù).電網(wǎng)保護(hù).浪涌保護(hù)
.穩(wěn)壓穩(wěn)流:電壓電流值均可從近似零至額定值連續(xù)可調(diào),穩(wěn)壓穩(wěn)流自動轉(zhuǎn)換。
.智能控制: RS232/RS485串行通信標(biāo)準(zhǔn)配置. 模擬控制:用0-5V或4-20mA信號控制電源
性能特點:電壓0—1200V,功率0—500KW
.智能控制: RS232/RS485串行通信標(biāo)準(zhǔn)配置. 模擬控制:用0-5V或4-20mA信號控制電源
規(guī)格






