日本ulvac冷陰極電離真空計(jì) SC1
G-TRAN系列是基于(1)降低設(shè)備成本、(2)節(jié)省空間、(3)節(jié)省布線的概念開發(fā)的真空計(jì),用于集中過程控制和各種設(shè)備的小型化。它由傳感器單元和顯示單元的基本單元組成,可以根據(jù)應(yīng)用進(jìn)行組合。
日本ulvac冷陰極電離真空計(jì) SC1

G-TRAN系列是基于(1)降低設(shè)備成本、(2)節(jié)省空間、(3)節(jié)省布線的概念開發(fā)的真空計(jì),用于集中過程控制和各種設(shè)備的小型化。
它由傳感器單元和顯示單元的基本單元組成,可以根據(jù)應(yīng)用進(jìn)行組合。
特征
用途
用于半導(dǎo)體和電子零件等各種制造設(shè)備的過程控制
用于熔爐等各種工業(yè)設(shè)備的過程控制
用于在線式和單晶片式等具有許多工藝室的各種制造設(shè)備的工藝控制
日本ulvac冷陰極電離真空計(jì) SC1
規(guī)格
| 類型 | 傳感器單元 |
| 模型 | SC1 |
| 自適應(yīng)探頭 | C-21、23、24、25 |
| 測量壓力范圍 | 1.0×10 -5至 1.0 Pa |
| 測量精度 | +100%,-50%(1.0×10 -4到 1.0×10 -1) |
| 工作溫度限制 | 10~40℃ |
| 測量值輸出 | 非線性輸出:DC0V 至 10V(HV-OFF 時為 10V) |
| SETPOINT1/2 調(diào)整輸出 | 非線性輸出:0 至 10V DC |
| 控制輸入信號 | 高壓開/關(guān) |
| 輸出信號 | 集電極開路,負(fù)邏輯 |
| 控制輸出信號 | 放電確認(rèn)/設(shè)定點(diǎn) 1/2 |
| LED顯示屏 | 功率、高壓、壓力保護(hù)、設(shè)定點(diǎn) 1/2 |
| 電源 | DC24V±2V, 150mA |
| 輸入/輸出連接器 | D-sub-15 針(M2.6 螺絲) |
| 身體質(zhì)量 | 430g(不含觸控筆) |
| 配件 | 輸入/輸出連接器 1套 |
| 1份快速手冊 |