該球差校正掃描透射電子顯微鏡還配備了高分辨率鏡頭和冷場發(fā)射電子槍，進(jìn)一步提高了圖像分辨率和電子束能量分辨率。同時，該型號系列還增加了一款不帶球差校正的主機(jī)配置，可以以后加配球差校正進(jìn)行升級。

球差校正掃描透射電子顯微鏡特色
 

高分辨率掃描透射電子顯微鏡成像

• HAADF-STEM圖像0.136 nm，F(xiàn)FT圖像0.105 nm(高分辨率鏡頭*)
• HAADF-STEM圖像0.144 nm(標(biāo)準(zhǔn)鏡頭)
• 明場掃描透射電子顯微鏡圖像0.204 nm(w/o球差校正儀)

高速，高靈敏度能譜分析：探針電流×10倍

• 元素面分布更迅速及時
• 低濃度元素檢測

操作簡化

• 自動圖像對中的功能

從樣品制備到觀察分析實(shí)現(xiàn)無縫連接

• 樣品桿與日立聚焦離子束系統(tǒng)兼容

配有各種選購件可執(zhí)行各種評估和分析操作

• 同時獲取和顯示SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX面分布*和DF/EELS面分布*圖像。
• 低劑量功能*(使樣品的損傷和污染程度降至低)
• 高精度放大校準(zhǔn)和測量*
• 實(shí)時衍射單元*(同時觀察暗場-掃描透射電子顯微鏡圖像和衍射圖案)
• 采用三維微型柱旋轉(zhuǎn)樣品桿(360度旋轉(zhuǎn))*，具有自動傾斜圖像獲取功能。
• ELV-3000即時元素面分布系統(tǒng)*(同時獲取暗場-掃描透射電子顯微鏡圖像)