臺式勻膠機/旋涂儀

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更新時間：2024-05-03 13:09:02瀏覽次數(shù)：842次

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北京亞歐德鵬科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

臺式勻膠機/旋涂儀用途勻膠機適用于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO 導(dǎo)電玻的半導(dǎo)體工藝、制版、及表面涂覆等工藝，該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動迅速，并能半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。

詳細(xì)介紹

臺式勻膠機/旋涂儀 DP-01

臺式勻膠機/旋涂儀用途

勻膠機適用于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO 導(dǎo)電玻的半導(dǎo)體工藝、制版、及表面涂覆等工藝，該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動迅速，并能半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。勻膠機具有快速啟動、快速切換轉(zhuǎn)速和轉(zhuǎn)速穩(wěn)定的性能，能夠膠膜厚度的一致性和均勻性。采用觸摸屏控制，實現(xiàn)啟/?？煽?，轉(zhuǎn)速實時觀察、三檔轉(zhuǎn)速可來回切換等功能，啟動后在低速下進(jìn)行勻膠，再切換至高速下進(jìn)行甩膠，轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時間分別可調(diào)；儀器配置了“安全開關(guān)"按鈕，儀器運轉(zhuǎn)時，上蓋處于關(guān)閉狀態(tài)，一旦上蓋打開，將觸發(fā)“安全開關(guān)"，儀器停止運轉(zhuǎn)，起到保護(hù)作用。

技術(shù)參數(shù)

轉(zhuǎn)速：硅片 4 英寸（含）以內(nèi) 300-8500RPM；4 英寸以上 300-6000RPM

時間控制：1-32767s

轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：±1%

膠的均勻性：±3%

參數(shù)設(shè)定：觸摸屏設(shè)置參數(shù)

適用于φ28 至φ200mm 硅片及其它材料等勻膠

電源輸入：AC220V±10V，50HZ

功率：60W

重量：13kg

外形尺寸：300（W）*227（H）*350（D）

工作環(huán)境：溫度 0℃-40 ℃，相對濕度＜80 %