費(fèi)勉儀器科技（上海）有限公司
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詳細(xì)摘要： MBE-600系統(tǒng)非常適合III-V，II-VI的材料應(yīng)用，該系統(tǒng)可以對(duì)1、2和3英寸襯底進(jìn)行外延，并且其垂直腔室設(shè)計(jì)以及各種組件可實(shí)現(xiàn)逐層精確的外延。MBE-...
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詳細(xì)摘要： 為了實(shí)現(xiàn)在4英寸晶圓上外延生長(zhǎng)材料，費(fèi)勉儀器推出了MBE-800分子束外延系統(tǒng)。標(biāo)準(zhǔn)版系統(tǒng)采用雙溫區(qū)襯底加熱器，并包含12個(gè)蒸發(fā)源端口，可實(shí)現(xiàn)復(fù)雜結(jié)構(gòu)薄膜的精確...
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詳細(xì)摘要： 這款研究應(yīng)用設(shè)備配備12個(gè)蒸發(fā)源安裝口，靈活適用于多種材料體系研究，能單次外延3片3inch或單片6inch襯底，具備簡(jiǎn)潔友好的操作界面和模塊化維護(hù)設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊...
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詳細(xì)摘要： 費(fèi)勉儀器推出了MBE-1000 Cluster分子束外延系統(tǒng)，可進(jìn)行5×3，4×4，單片6, 單片8襯底外延生長(zhǎng)。該系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)傳樣和生長(zhǎng)，非常適用于器件的...
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詳細(xì)摘要： 批量生產(chǎn)型MBE系統(tǒng)，經(jīng)濟(jì)高效產(chǎn)量高外延9×4inch，4×6inch，15×3inch和32×2inch襯底；MBE日常工作全自動(dòng)化：樣品傳送，束流標(biāo)定，外延...
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詳細(xì)摘要： 真空解理鍍膜系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)高功率激光器巴條的超高真空原位解理（Cleaving）、鈍化(Passivation)和光學(xué)鍍膜(Optical Coating)。在超高...
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