費勉儀器科技（上海）有限公司
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詳細摘要： 樣品抓取頭通過安裝在其他傳樣裝置上，如磁耦合傳樣桿（MTA），來實現(xiàn)將樣品傳遞到指定位置。它操作簡單，通過推動并旋轉(zhuǎn)抓取頭90°來鎖緊或者松開樣品托，同時結(jié)構(gòu)小...
產(chǎn)品型號：所在地：更新時間：2025-10-22 在線留言
詳細摘要： 樣品停放臺適配旗形樣品托，可安裝在線性或旋轉(zhuǎn)驅(qū)動上，容納多個樣品托。費勉提供多種型號可供選擇，以滿足不同的應(yīng)用需求。
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詳細摘要： 光纖耦合激光器將光纖耦合光學(xué)器件、激光電源、PID溫控系統(tǒng)等集成于一體，并搭配紅外測溫儀，將溫度信號作為過程量反饋給PID溫控器形成閉環(huán)系統(tǒng)，從而達到精準控溫的...
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詳細摘要： 材料放氣率測試系統(tǒng)OGMS-100由真空抽氣模塊、小孔流導(dǎo)法測量模塊、溫度控制模塊與質(zhì)譜分析模塊等四部分組成。該系統(tǒng)采用小孔流導(dǎo)法，通過在不同溫度下對主腔室、測...
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詳細摘要： 低溫(LT)和中溫(MT)蒸發(fā)源采用Ta絲輻射加熱，工作溫度分別可達1100℃和1500℃。
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詳細摘要： 射頻等離子體源，通過線圈式結(jié)構(gòu)激發(fā)產(chǎn)生等離子體，適用于H2、N2、O2、稀有氣體等，具有更好的穩(wěn)定性以及更精確的操控性，廣泛應(yīng)用于氮化物生長、氮原子注入和摻雜、...
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詳細摘要： 真空放氣螺絲，又被稱為排氣螺絲或打孔螺絲，是專為真空系統(tǒng)設(shè)計的螺絲。它的外觀與普通螺絲幾乎相同，的區(qū)別在于真空螺絲沿著軸線從頭到尾有一個貫穿孔。在真空系統(tǒng)中，采...
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詳細摘要： 超高真空視窗擋板主要作用是保護視窗，避免在材料沉積時造成視窗污染，造成觀察不便。手動、氣動以及電動可選。
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詳細摘要： 程序升溫脫附（TPD）技術(shù)是研究表面活性中心與吸附分子相互作用的重要技術(shù)。費勉儀器推出的程序升溫脫附表征系統(tǒng)專為超高真空的熱脫附而設(shè)計，結(jié)合了超高真空、程序控制...
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詳細摘要： 費勉儀器可提供傳統(tǒng)管式爐CVD設(shè)備和等離子體增強化學(xué)氣相沉積（PECVD）設(shè)備。由于等離子體的存在，PECVD中發(fā)生薄膜沉積的溫度會遠遠低于傳統(tǒng)CVD中的薄膜沉...
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詳細摘要： 高精度全尺寸三維平移臺可在超高真空環(huán)境下實現(xiàn)設(shè)備在X、Y、Z三個方向上的平穩(wěn)運動，具有的運動精度。該平臺采用直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)和高精度滾珠絲桿，結(jié)構(gòu)穩(wěn)固可靠。所有控制...
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詳細摘要： MBE-600系統(tǒng)非常適合III-V，II-VI的材料應(yīng)用，該系統(tǒng)可以對1、2和3英寸襯底進行外延，并且其垂直腔室設(shè)計以及各種組件可實現(xiàn)逐層精確的外延。MBE-...
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詳細摘要： 為了實現(xiàn)在4英寸晶圓上外延生長材料，費勉儀器推出了MBE-800分子束外延系統(tǒng)。標準版系統(tǒng)采用雙溫區(qū)襯底加熱器，并包含12個蒸發(fā)源端口，可實現(xiàn)復(fù)雜結(jié)構(gòu)薄膜的精確...
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詳細摘要： 這款研究應(yīng)用設(shè)備配備12個蒸發(fā)源安裝口，靈活適用于多種材料體系研究，能單次外延3片3inch或單片6inch襯底，具備簡潔友好的操作界面和模塊化維護設(shè)計，結(jié)構(gòu)緊...
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詳細摘要： 費勉儀器推出了MBE-1000 Cluster分子束外延系統(tǒng)，可進行5×3，4×4，單片6, 單片8襯底外延生長。該系統(tǒng)可實現(xiàn)全自動傳樣和生長，非常適用于器件的...
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詳細摘要： 批量生產(chǎn)型MBE系統(tǒng)，經(jīng)濟高效產(chǎn)量高外延9×4inch，4×6inch，15×3inch和32×2inch襯底；MBE日常工作全自動化：樣品傳送，束流標定，外延...
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詳細摘要： 費勉儀器具有專業(yè)的腔體加工技術(shù)，采用氬弧焊或是一體成型技術(shù)等，超高真空兼容，適用于科研、新材料等場景，有蝶形、球形、鐘罩型等各種不同的形狀，腔體連接口的數(shù)量和大...
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詳細摘要： 差分旋轉(zhuǎn)驅(qū)動采用蝸輪蝸桿傳動，高負載，適用旋轉(zhuǎn)重型樣品架或其他樣品支撐裝置。它分為上下兩個法蘭，分別為安裝法蘭和運動法蘭，在安裝法蘭固定后，允許上方運動法蘭36...
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詳細摘要： 緊湊型差分旋轉(zhuǎn)驅(qū)動結(jié)構(gòu)更緊湊，適用于空間受限的場合。它分為上下兩個法蘭，分別為安裝法蘭和運動法蘭，在安裝法蘭固定后，允許上方運動法蘭360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)。其差分結(jié)構(gòu)...
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詳細摘要： 高精度差分旋轉(zhuǎn)驅(qū)動通過使用交叉滾子軸承，提高了旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的精度和剛度。此外，它還配備了光電編碼器，通過伺服電機驅(qū)動蝸輪蝸桿，再由光電編碼器進行閉環(huán)控制，實現(xiàn)組件在...
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